电子制造产业中超纯水系统，工艺管道清洗洁净度、及使用中超纯水监测提供实验室检测及现场采样专业化检测服务。

适用范围：

超纯水系统监控及验收，超纯水系统水质定期监测，工艺管道清洗洁净度验证、工艺工段清洁度验证，化学液管道清洗验证。

检测项目：

•  金属杂质元素分析（检出限：0.1ppb—0.001ppb）：铜、锌、镍、钠、钾、铁、铅等

•  阴/阳离子分析（0.01ppb）：氟、氯、溴、亚硝酸根、硝酸根、磷酸根、硫酸根。

•  总有机碳（TOC）分析（检出限：0.01ppb）

•  颗粒物（Partical）分析：(检测范围：0.05um、0.1μm，0.15um，0.2um)

•  挥发性有机化合物（VOC）分析（检出限：0.01ppb）

•  细菌总数分析

•  电阻率测定：支持现场测定

•  硅化合物分析

•  现场采样

•  在线分析服务

检测仪器：

•  电导率仪

•  总有机碳TOC分析仪

•  颗粒计数仪

•  离子色谱仪IC

•  溶解氧分析仪

•  电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)

•  X射线光电子能谱（XPS）

•  气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）

•  露点仪