洁净车间及产线气态分子污染物（AMC）专业化检测服务，辅助企业对洁净室环境及相关位置的微量杂质进行监测和控制，提高产品良率，保障产品质量。
适用范围：
洁净室气态分子污染物（AMC）
随着半导体、芯片、晶圆等高科技产品不断向微型化发展，洁净室环境面临着前所未有的挑战，在此背景下，AMC显得尤为重要，针对超低浓度气态化学污染物的检测难题，NOA挪亚检测提供专业的AMC检测技术支持，以及覆盖全流程的一站式洁净室检测解决方案。
检测项目：
• SEMI F27
• MA（Molecular Acids）酸性分子污染物：氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等
• MB（Molecular Bases）碱性分子污染物：NH3、AMINE、NMP、HMDS等
• MC（Molecular Condensable organic Compounds）可凝结的分子有机化合物：清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用有机溶剂成分残留。
• MD（Molecular Dopants）分子掺杂物：扩散、离子注入和CVD等工序产生的硅烷、磷烷、砷烷、乙硼烷(B,H,)等
• 挥发性有机物分析（VOC）
• 现场采样
检测仪器：
• 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）
• 气象色谱仪GC
• 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
• 离子色谱仪IC
品牌资质双重保证
NOA作为国内头部检测认证机构，行业内具有相当的品牌影响力和权威性，NOA获得CMA,CNAS认证，确保其管理体系和技术能力符合要求。
设备保障，技术可靠
NOA电子材料和化学品测试中心配备高精度设备，并定期校准和维护，测试人员行业经验丰富，严格按照标准操作程序进行测试，确保测试数据的可靠性。
质量持续控制，数据报告严格审核
NOA通过内部质量控制（如使用标准样品）和外部能力验证，持续监控检测质量。测试数据需经过多重审核，确保结果准确无误。
