晶圆，硅片及其他产品的颗粒、污染物、形貌及材料表征等专业化检测服务。
适用范围：
硅片（抛光片、外延片、SOI片、氩退火片、碳化硅片、硅基氮化镓外延片，晶圆（2寸、4寸、6寸、8寸、12寸）
检测项目：
• 表面金属离子分析：Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn
• 表面有机污染物分析：油脂、蜡、润滑油等
• 表面粗糙度分析
• 载流子浓度
• 电阻率
• 碳氧含量
• 表面缺陷检测：凸纹、凹纹、崩边、缺口、裂纹、划伤、塌边、波纹、机械损伤、表面颗粒沾污等
• 施主杂质：铝、镓、锌、镁、铁、铜等
• 受主杂质：硼、铝、镓、铟等
• 掺杂元素：镁、铝、锌、镓、磷、砷、硒等
检测仪器：
• 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
• 气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）
• 离子色谱仪（IC）
• 全反射X射线荧光仪（TXRF）
• 汞探针CV
• D-SIMS
• XRT
• Candela 8520
品牌资质双重保证
NOA作为国内头部检测认证机构，行业内具有相当的品牌影响力和权威性，NOA获得CMA,CNAS认证，确保其管理体系和技术能力符合要求。
设备保障，技术可靠
NOA电子材料和化学品测试中心配备高精度设备，并定期校准和维护，测试人员行业经验丰富，严格按照标准操作程序进行测试，确保测试数据的可靠性。
质量持续控制，数据报告严格审核
NOA通过内部质量控制（如使用标准样品）和外部能力验证，持续监控检测质量。测试数据需经过多重审核，确保结果准确无误。
