电子制造产业耗材、设备、设备零部件，晶圆盒及接触材料提供专业的性能验证，洁净度验证，污染物检测服务。

适用范围：

•  半导体设备及零部件、晶圆盒及晶圆接触材料，滤芯、滤料、无尘工作服（无尘服/无尘鞋/口罩/鞋套/手套/手指套/包装材料）

检测项目：

丨 滤芯材料性能：

•  可靠性能：过滤精度、阻力、纳污容量、孔径、与过滤材料的相容性等

•  物理性能：滤材厚度、密度、伸展率、拉伸强度、顶破强度、撕裂强度、耐磨性等

•  安全性能：耐化学腐蚀稳定性、耐湿热稳定性、耐紫外老化稳定性等

丨 滤料性能：

•  物理性能：表面形貌和微观结构、孔径和孔隙率、拉伸强度和断裂伸长率、耐磨性

•  可靠性能：过滤效率、压降、吸附容量等

•  安全性能：耐化学腐蚀稳定性、耐湿热稳定性、耐紫外老化稳定性等

丨 滤芯产品效果验证：

•  化学兼容性、可提取物或浸出物相容性、细菌截留率

•  无尘工作服（无尘服/无尘鞋/口罩/鞋套/手套/手指套/包装材料）

•  附着的污染粒子检测、附着未知成分解析、外观、过滤效率、静电性能、耐洗涤性能

丨 半导体设备：

•  发尘量测试、洁净环境性能验证、设备符合性证书

丨 ISO 14644：

•  洁净室空气颗粒及浮游菌监控

丨 半导体零部件：

•  洁净度验证、Outgassing分析

丨 晶圆盒及晶圆接触材料：

•  金属元素污染物：锂、硼、钴、砷、银、钨、钠、钾、镁、钙、铁、锌、铜、铬、镍、铅、锰、铝、锑等

•  阴离子污染物：SO42-, Cl-, NO2-、Br-、NO3-、PO43-, F-等

•  颗粒污染物：颗粒粒径0.1 – 1 um

•  有机物污染：含碳污染物

检测仪器：

•  电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)

•  气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）

•  离子色谱仪（IC）